ffu净化原理图

利用FFU风机过滤单元内部的风机(电机+叶轮)将空气(风)吸入，所吸收的空气(风)经过ffu下面的HEPA(高效空气过滤器)或者ULPA(超高效过滤器)滤网，将空气中的大颗粒的尘埃微粒子过滤掉，最后把新风以0.45m/s±10%的风速均匀送到洁净室。能使用FFU的无尘室一般来说，都是洁净度在千级以上的。其基本结构是空气首先经过MAU(首次过滤，初中效过滤器)进入无尘室顶部，再通过FFU(二次过滤，HEPA或ULPA)将风送进无尘室内，送下来的风通过高架地板，再进入回风箱送到无尘室顶部。